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德国小型涡轮分子泵EQ-PV-HVS配有KF40真空波纹管和KF25真空计,真空鸿沟从10-3mbar -10-7mbar,开动后短年华获得较高的真空水平,且运行噪音出格低。
高质真空泵YTP550-4E16A是可连续24h工作的旋片式真空泵,其出气口上配有立式油污过滤器,可能裁减泵油的损耗,同时避免境况污染。
进口无油真空泵ACP15由于泵内无油,因此在真空状态下无油雾产生,从而为尝试供应了一个洁净的低压境况,适合与我司管式炉共同使用,构成低压CVD体系。
单级旋片式真空泵TW-3A配有油污过滤器,可能过滤真空泵在工作时发作的油烟,不只保护人体健康,而且避免对境遇的污染。