产品中心
当前位置:首页 > 产品中心 > 混气系统、真空系统、水冷系统 >
产品分类CLASSIFICATION
混气体系二路质子GSL-2Z是用于控制一种或两种的气体流经真空密封的管式炉,这种气体控制体系安装在移动架内,管式炉不妨放在移动架上面,气体控制体系的前面板上有控制并表现气体流量的调节阀,不妨用于CVD体系及退火炉,用来研究气体情况对质料的影响,在半导体和集成电路财富、特种质料学科、化学财富、石油财富、医药、环保、真空等多种领域的科研和生产中有着重要的作用,广泛应用于电子工艺设备,如扩散、氧化、外。
混气编制三路质子GSL-3Z是用于控制一种到三种的气体流经真空密封的管式炉,这种气体控制编制安装在移动架内,管式炉没关系放在移动架上面,气体控制编制的前面板上有控制并展现气体流量的调节阀,没关系用于CVD编制及退火炉,用来查究气体情况对材料的影响,在半导体和集成电路财产、特种材料学科、化学财产、煤油财产、医药、环保、真空等多种领域的科研和生产中有着重要的功用,广泛应用于电子工艺设备,如扩散、氧化、外延
混气系统四路质子GSL-4Z是用于控制一种到四种的气体流经真空密封的管式炉,这种气体控制系统安装在移动架内,管式炉没关系放在移动架上面,气体控制系统的前面板上有控制并再现气体流量的调节阀,没关系用于CVD系统及退火炉,用来考究气体情况对资料的影响,在半导体和集成电路资产、特种资料学科、化学资产、火油资产、医药、环保、真空等多种领域的科研和生产中有着重要的功用,广泛应用于电子工艺设备,如扩散、氧化、外延
小型两通道供气系统CGM-2F是一种紧凑型双通道微量气体混合供气系统,输入的两种差别气体通过调节压力和流量,输出一种较正确的混合性气体,可用以小型管式炉、手套箱、等离子清洗机、小型PECVD系统。
多路浮子控制供气系统GSL-3F合用于控制一种到三种气体的通入,管式炉没关系置于其上,可用于CVD系统及退火炉,可用考究气体境遇对质料的影响。
精密氮气爆发器DFN-500是一种小型高纯度气体爆发器,它发生气体的速度可来到500ml/min,且气体纯度99.99%,是化学和质料实验室的梦想设备。