德扑之星(中国区)官方网站

PCE-66紫外臭氧清洗机是一款小型紫外臭氧清洗机，可用于清洗百般单晶基片，以担保更好的成膜质量。同时可去除光刻胶、改善材料外表润湿性、清洗SEM、TEM样品及紫外活化聚合物等。内置加热管，可加热基片，加热温度上限150℃，PID方式控温，可设置三十段起落温步骤。带有搅拌功能，用作氧化物包括干法电极电池正极材料的外表处理。

PCE-66紫外臭氧清洗机是一款小型紫外臭氧清洗机，可用于清洗百般单晶基片，以保证的成膜质量。同时也可去除光刻胶、改善原料表面润湿性、清洗SEM、TEM样品及紫外活化聚合物等。内置加热管，可加热基片，最高加热温度150℃，PID方式控温，可设置三十段升降温步骤。

PCE-22紫外臭氧清洗机供给了一种无酸、干燥对原料无毁伤的原子级此外清洗权术，特别相符铲除一些有机化合物。

PCE-22-LD紫外臭氧清洗机拔取不必要任何溶剂的干式清洗技术，对清洗外貌没有损伤。拔取大功率低压石英汞灯，发生波长185nm和254nm的紫外线，185nm的光可能氧分子O2转酿成活性的臭氧分子O3，254nm的光同时激发清洗外貌的有机分子，使其容易被臭氧分子吸收并分解。因为臭氧分子存在时间短，且同时被254nm的光分解，以是可调节样品台到灯管的距离优化本能机能。